描述：

U15-U17級ULPA是目前潔凈領(lǐng)域級別的過濾設(shè)備，對粒徑≥0.1-0.2μm的超細顆粒物過濾效率可達到99.9995%-99.999995%。主要用于ISO 3-4級（1-10級）超凈環(huán)境，同時滿足GMP、ISO 14644等國際國內(nèi)行業(yè)標準，是半導體光刻、納米材料制備、生物醫(yī)藥研發(fā)等領(lǐng)域的核心凈化裝備。

按材質(zhì)和結(jié)構(gòu)，分為PTFEULPA、槽液型ULPA和無隔板ULPA。

核心技術(shù)優(yōu)勢：

極限過濾能力：U17級對0.1-0.2μm顆粒效率達99.999995%（即每1000萬個顆粒中穿過的≤1個），滿足ISO 3級（1級）潔凈室要求。PTFE覆膜濾料：表面過濾機理，粉塵不滲透，壓損低、易清灰，適用于高潔凈度要求的半導體前端制程。

液槽密封：凝膠密封形式確保零泄漏，適合對顆粒控制極嚴的場景。

不銹鋼外框：耐腐蝕、不產(chǎn)生銹蝕顆粒，適用于酸堿環(huán)境和經(jīng)常消毒的場所。

工況適配對照表：

應(yīng)用領(lǐng)域：

ISO 1-5級（十級、百級）高端潔凈室終端凈化過濾

GMP認證無菌制藥車間、生物安全實驗室核心凈化

半導體、芯片、晶圓制造及微電子車間精密終端過濾

醫(yī)療手術(shù)室、無菌ICU等專用過濾

精密光學儀器、航天航空組件、鋰電池高端生產(chǎn)車間凈化

終端Ultra-efficient凈化過濾定制

案例與數(shù)據(jù)佐證：

某晶圓制造工廠原本使用傳統(tǒng)玻纖ULPA過濾器，壓降較高導致能耗居高不下，且玻纖濾材在安裝、存儲和維護過程中易損壞。為客戶定制了PTFEULPA，產(chǎn)品阻力僅為玻纖介質(zhì)的一半，且具有更優(yōu)的耐久性。

常見問題解答：

Q1：ULPA和HEPA的主要區(qū)別是什么？

A：ULPA針對更小的粒徑（0.1-0.2μm）達到更效率高（≥99.9995%），而HEPA針對0.3μm達到99.95%-99.995%。ULPA通常用于需要ISO 4級以上潔凈度的領(lǐng)域，成本約為HEPA的2-3倍。

Q2：ULPA過濾器為什么使用PTFE濾料？

A：PTFE覆膜具有表面過濾特性，顆粒不易嵌入濾料內(nèi)部，壓降上升緩慢、不易堵塞，使用壽命更長；同時化學穩(wěn)定，不吸附AMC/不析出離子，適用于半導體行業(yè)。

Q3：ULPA是否需要PAO檢漏？

A：需要，且漏率要求更嚴。HEPA接受≤0.01%穿透率（10000個中通過1個），ULPA要求≤0.0005%穿透率（200000個中通過1個），檢漏標準更嚴格。

Q4：ULPA過濾器的更換頻率是多少？

A：在半導體Fab中，U15-17級一般4-5年更換一次。需每半年或一年進行PAO檢漏，發(fā)現(xiàn)泄漏超過閾值則提前更換。