描述：

氧化鋁 (Al?O?) 濾芯用于濕法清洗臺(tái)、單片清洗設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備以及光伏制絨、刻蝕設(shè)備的循環(huán)化學(xué)液管路上。可在線過濾工藝化學(xué)品（如SC1、SC2、HF、CMP漿料）中的顆粒、凝膠或微氣泡，保護(hù)晶圓/電池片表面免受損傷，同時(shí)延長(zhǎng)化學(xué)品的單批次使用壽命。

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

高精度表面過濾，杜絕微顆粒脫落：采用多層氧化鋁顆粒燒結(jié)工藝，形成穩(wěn)定的梯度孔結(jié)構(gòu)，過濾精度高，且纖維零脫落，徹底解決傳統(tǒng)深層過濾膜（如PES）初始使用時(shí)纖維遷移問題。

極低金屬離子與有機(jī)物析出：經(jīng)超純水循環(huán)工藝處理，濾芯在使用初期已預(yù)沖洗，上線后24小時(shí)內(nèi)關(guān)鍵金屬離子析出即降至0.1ppb以下。

優(yōu)異的抗腐蝕強(qiáng)度：針對(duì)含有HF或其他強(qiáng)酸的極端工藝，本體氧化鋁材質(zhì)化學(xué)惰性極強(qiáng)，無(wú)膨脹、無(wú)老化風(fēng)險(xiǎn)。

工況適配對(duì)照表

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體濕法設(shè)備

半導(dǎo)體單片清洗機(jī)

半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光

半導(dǎo)體槽式清洗臺(tái)

光伏電池濕法設(shè)備

光伏電池片制絨機(jī)

去磷硅玻璃 (PSG) 刻蝕機(jī)

案例與數(shù)據(jù)佐證：

為某晶圓廠單片清洗設(shè)備定制0.1μm高純氧化鋁濾芯，并設(shè)置循環(huán)沖洗。有效解決了單片清洗時(shí)顆粒超標(biāo)、后續(xù)柵氧化層缺陷增多的問題。更換后，將濾芯的使用壽命從2周延長(zhǎng)至3個(gè)月，化學(xué)品槽液更換頻率也從每周降到每月。

FAQ區(qū)塊：

問：如何判斷氧化鋁濾芯需要更換？

答：主要通過監(jiān)控濾芯前后壓差。當(dāng)壓差達(dá)到預(yù)設(shè)上限（通常為0.2-0.3MPa）且在線反沖無(wú)法有效恢復(fù)時(shí)便需更換。

問：氧化鋁濾芯使用前需要特殊處理嗎？

答：需要。必須用對(duì)應(yīng)工藝化學(xué)品或超純水充分循環(huán)沖洗，去除生產(chǎn)殘存的微量金屬離子和氣泡。